超聲波清洗技術經過幾十年的理論實踐,在工藝和設備上都得到了很大的發展,不僅研發了大批新產品,也製訂了更為先進的清洗工藝。
半導體矽片、太陽能電池矽片表麵的超微汙物粒子,如采用低頻超聲波,即使矽片擊碎,粒子依然附著其上,越是增加功率密度也沒任何效果。近來發展起來的兆赫高頻超聲清洗,其超聲頻率髙,實際上已不再是產生空化氣泡,而是高頻壓力波的擦洗作用,對汙物的清除率也接近百分之百,並且對矽片損傷微乎其微。因此近來發展較快,雖然造價昂貴,但矽晶圓太陽能行業仍趨之若鶩。
化纖行業使用的噴絲板、其上麵密密麻麻的微細孔,以前恐怕隻有人工用細針來捅穿堵塞物,即使采用常規的超聲清洗效果也不理想,主要是聲強達不到要求,而采用機械掃描聚焦式超聲清洗,達到較高的聲強,在間隙脈衝狀態下,空化泡高密度的轟擊,噴絲板微孔內的汙物脫離,達到清理殘留物的效果。
在一台超聲波清洗機槽體內,安裝兩組或三組以上不同超聲頻率的換能器,由多台超聲波發生器分別推動各自頻率的換能器,超聲波清洗的頻率高,在液體中的空化密度大但空化強度低,而超聲波清洗的頻率低則正好相反,空化密度小但空化強度高,由於低頻超聲波的強度高,有利於物體表麵清洗,高頻超聲波空化密度高,穿透細孔、縫隙、凹槽結構的能力強。因此在一台中應用多種頻率的超聲波,就解決了一個頻率因駐波場造成的清洗不均勻問題。
掃頻清洗和跳頻清洗都是為了改善清洗槽中的聲場結構,掃頻清洗解決了清洗槽的駐波場,使清洗更均勻;而跳頻和多頻一樣兼顧到高低頻清洗,不同的是跳頻用的是一個換能器和一個發生器,其換能器本身具有兩個或多個諧振頻率,在第一諧振點帶寬內作連續的頻率變化,然後跳到另一帶寬內進行掃頻清洗,屬於高中低頻交替進行的清洗方式,這就是實現一台超聲波發生器驅動一種換能器的多種頻率,並可實現頻率自由切換。